Synthesis of Pure Titanium Nitride Layers by Multipulse Excimer Laser Irradiation of Titanium Foils in a Nitrogen-Containing Atmosphere.

D'Anna, E; Leggieri, Gilberto; Luches, A; Martino, Maurizio; DRIGO A., V; MIHAILESCU I., N; Ganatsios, D. S.

doi:10.1063/1.347213

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Synthesis of Pure Titanium Nitride Layers by Multipulse Excimer Laser Irradiation of Titanium Foils in a Nitrogen-Containing Atmosphere. / D'ANNA E; G. LEGGIERI; LUCHES A; MARTINO M; DRIGO A.V; MIHAILESCU I.N; GANATSIOS D.S. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - STAMPA. - 69(1991), pp. 1687-1696.

Titolo:	Synthesis of Pure Titanium Nitride Layers by Multipulse Excimer Laser Irradiation of Titanium Foils in a Nitrogen-Containing Atmosphere.
Autori:	D'ANNA E LEGGIERI, Gilberto LUCHES A MARTINO, Maurizio DRIGO A. V MIHAILESCU I. N GANATSIOS D. S. mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1991
Rivista:	JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
Handle:	http://hdl.handle.net/11587/111588
Appare nelle tipologie:	Articolo pubblicato su Rivista

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