CINECA IRIS Institutional Research Information System
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EnglishExcimer Laser Reactive Ablation: An Efficient Approach for the Deposition of High Quality TiN Films / MIHAILESCU I.N; CHITICA N; TEODORESCU V.S; DE GIORGI M.L; G. LEGGIERI; LUCHES A; MARTINO M; PERRONE A; DUBREUIL B. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. A. VACUUM, SURFACES, AND FILMS. - ISSN 0734-2101. - STAMPA. - 11(1993), pp. 2577-2582.
| Titolo: | Excimer Laser Reactive Ablation: An Efficient Approach for the Deposition of High Quality TiN Films. |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 1993 |
| Rivista: | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11587/111517 |
| Appare nelle tipologie: | Articolo pubblicato su Rivista |
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