CINECA IRIS Institutional Research Information System
IRIS è la soluzione IT che facilita la raccolta e la gestione dei dati relativi alle attività e ai prodotti della ricerca. Fornisce a ricercatori, amministratori e valutatori gli strumenti per monitorare i risultati della ricerca, aumentarne la visibilità e allocare in modo efficace le risorse disponibili.
Englishlavoro con un premio Nobel: A. M. PROKHOROV The synthesis of stable and adherent TiSi2 layers by one-step laser irradiation of Ti deposited on Si wafers is reported. A new thermal self-aligned effect is observed. By multipulse excimer laser irradiation, a regime was obtained whereby the Ti covering the Si substrate was completely reacted while the Ti covering the SiO2 layer was completely expelled by vaporization.
| Titolo: | Direct Synthesis of TiSi2 By A Laser Thermal Self-Aligned Process | |
| Autori: | ||
| Data di pubblicazione: | 1992 | |
| Rivista: | ||
| Abstract: | lavoro con un premio Nobel: A. M. PROKHOROV The synthesis of stable and adherent TiSi2 layers by one-step laser irradiation of Ti deposited on Si wafers is reported. A new thermal self-aligned effect is observed. By multipulse excimer laser irradiation, a regime was obtained whereby the Ti covering the Si substrate was completely reacted while the Ti covering the SiO2 layer was completely expelled by vaporization. | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11587/108557 | |
| Appare nelle tipologie: | Articolo pubblicato su Rivista |
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento:
http://hdl.handle.net/11587/108557
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
Copyright © 2021