Two-Photon Polymerization Lithography and Laser Doppler Vibrometry of a SU-8-Based Suspended Microchannel Resonator / Accoto, C.; Qualtieri, A.; Pisanello, F.; Ricciardi, C.; Pirri, C. F.; Vittorio, M. D.; Rizzi, F.. - In: JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS. - ISSN 1057-7157. - STAMPA. - 24(2015), pp. 1038-1042.
Titolo: | Two-Photon Polymerization Lithography and Laser Doppler Vibrometry of a SU-8-Based Suspended Microchannel Resonator |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2015 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11587/434897 |
Appare nelle tipologie: | Articolo pubblicato su Rivista |
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