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We report on the deposition of thin titanium carbide films on 60 mm and 100 mm Si wafers by KrF laser ablation of titanium targets in low-pressure (0.1 Pa) CH4 and C2H2 atmospheres, and on their characterization. Film characteristics (thickness, composition and crystalline structure) were studied as a function of the carbon-containing gas (C2H2or CH4), laser fluence (4 or 6 J/cm2), substrate temperature (20 or 250◦C) and target-to-substrate distance (70–120 mm).
Titanium carbide film deposition on silicon wafers by pulsed KrF laser ablation of titanium in low−pressure CH4 and C2H2 atmospheres
We report on the deposition of thin titanium carbide films on 60 mm and 100 mm Si wafers by KrF laser ablation of titanium targets in low-pressure (0.1 Pa) CH4 and C2H2 atmospheres, and on their characterization. Film characteristics (thickness, composition and crystalline structure) were studied as a function of the carbon-containing gas (C2H2or CH4), laser fluence (4 or 6 J/cm2), substrate temperature (20 or 250◦C) and target-to-substrate distance (70–120 mm).
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11587/111428
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simulazione ASN
Il report seguente simula gli indicatori relativi alla propria produzione scientifica in relazione alle soglie ASN 2021-2023 del proprio SC/SSD. Si ricorda che il superamento dei valori soglia (almeno 2 su 3) è requisito necessario ma non sufficiente al conseguimento dell'abilitazione. La simulazione si basa sui dati IRIS e sugli indicatori bibliometrici alla data indicata e non tiene conto di eventuali periodi di congedo obbligatorio, che in sede di domanda ASN danno diritto a incrementi percentuali dei valori. La simulazione può differire dall'esito di un’eventuale domanda ASN sia per errori di catalogazione e/o dati mancanti in IRIS, sia per la variabilità dei dati bibliometrici nel tempo. Si consideri che Anvur calcola i valori degli indicatori all'ultima data utile per la presentazione delle domande.
La presente simulazione è stata realizzata sulla base delle specifiche raccolte sul tavolo ER del Focus Group IRIS coordinato dall’Università di Modena e Reggio Emilia e delle regole riportate nel DM 589/2018 e allegata Tabella A. Cineca, l’Università di Modena e Reggio Emilia e il Focus Group IRIS non si assumono alcuna responsabilità in merito all’uso che il diretto interessato o terzi faranno della simulazione. Si specifica inoltre che la simulazione contiene calcoli effettuati con dati e algoritmi di pubblico dominio e deve quindi essere considerata come un mero ausilio al calcolo svolgibile manualmente o con strumenti equivalenti.
