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EnglishNitride-molecule synthesis in plasma produced by reactive laser ablation assisted by RF discharge for thin-film deposition / Vivine, C.; Dinescu, M.; Meheust, P.; BOULMR LEBORGNE, C.; Caricato, Anna Paola; Perrier, J.. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - STAMPA. - 127(1998), pp. 668-673.
| Titolo: | Nitride-molecule synthesis in plasma produced by reactive laser ablation assisted by RF discharge for thin-film deposition |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 1998 |
| Rivista: | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11587/107027 |
| Appare nelle tipologie: | Articolo pubblicato su Rivista |
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