Brevetto rilasciato in data 05 aprile 2001 Codice Classi H01L C23C

Camera di reazione ad elevate prestazioni per processi di deposizione chimica da fase vapore di semiconduttori

LOVERGINE, Nicola;
1998-01-01

Abstract

Brevetto rilasciato in data 05 aprile 2001 Codice Classi H01L C23C
1998
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