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Fabrication of AlN/Si SAW delay lines with very low RF signal noise
2007-01-01 Ingrosso, Ilaria; Petroni, S; Altamura, D; DE VITTORIO, Massimo; Combi, C; Passaseo, A.
AlN on polysilicon piezoelectric cantilevers for sensors/actuators
2009-01-01 Giordano, Cristian; Ingrosso, Ilaria; M. T., Todaro; Maruccio, Giuseppe; S., DE GUIDO; Cingolani, Roberto; A., Passaseo; DE VITTORIO, Massimo
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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Fabrication of AlN/Si SAW delay lines with very low RF signal noise | 1-gen-2007 | Ingrosso, Ilaria; Petroni, S; Altamura, D; DE VITTORIO, Massimo; Combi, C; Passaseo, A. | |
AlN on polysilicon piezoelectric cantilevers for sensors/actuators | 1-gen-2009 | Giordano, Cristian; Ingrosso, Ilaria; M. T., Todaro; Maruccio, Giuseppe; S., DE GUIDO; Cingolani, Roberto; A., Passaseo; DE VITTORIO, Massimo |
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